2024-10-17
ハーモニックドライブは半導体産業で広く使用されています 高精度,低反発,コンパクトな設計,高い信頼性ハーモニックドライブは半導体機器の欠かせない部品になりましたワッフル移転と光石刻みから 彫刻,包装,検査まで ハーモニックドライブが 精密な動き制御を可能にします半導体製造における生産効率の向上と製品の品質の確保.
ワイファー転送装置
半導体製造において,ウエファー転送機器は,高度な精度と安定した運動制御を必要とする.高トーク出力と低反響特性を持つハーモニックドライブは,ワッフル転送とハンドリングロボットに広く使用されていますこれらのロボットは,狭い空間で効率的かつ正確にウエフルを移動し,調和の取れた駆動装置は,揺れのない流暢な移動を可能にします.
フォトリトグラフィーの機械
半導体製造における重要な機器で 非常に高い精度が必要です 精度の高い動き制御能力によりハーモニックドライブは,照光リトグラフィーのアライナメントシステムとスキャンプラットフォームに広く使用されています.この精度は,チップの製造品質と出力を向上させ,ウエファー上のパターンの正確なアライナメントと露出を保証します.
エッチング 機器
エッチング機器は,微小な回路構造をウェーファー表面に作るために使用され,プロセスのパラメータに対する極めて正確な制御が必要です.これらの装置の調和駆動は,エッチングプロセスの安定し均等な制御を確保するために,正確な運動部品を動かすプロセスの高精度を保証します.
検査・測定装置
半導体生産中に,検査と測定は製品の品質を確保するために極めて重要です.例として,ウエフルの表面検査システム,厚さ測定器,電気性能試験装置この検査システムでは,高周波駆動の重複性が高いため,精度と信頼性が確保されています.
真空環境での応用
低摩擦性,コンパクトな構造により,高真空環境で行う必要があります.油滑油なしで動作する能力ハーモニックドライブは,真空環境に特に適しています.これは真空処理機器に広く使用されます.
包装装置
半導体包装装置は チップをキャリアに包装するために使用され 迅速で正確な操作が必要ですハーモニック・ドライブの高いダイナミック応答と低い反発特性により,パッケージング機器の複雑な機械的な動きを正確に制御できます梱包プロセスで高効率と高出力を確保します.
磨き機と磨き機
ハーモニック・ドライブは,これらの装置に高精度で高トークの運動制御を提供できます.磨きや磨き過程で機械的精度を確保する表面の質を向上させる.
自動生産ラインにおける応用
ハーモニックドライブは,ロボットアーム,コンベアベルト,組み立て機器を含む自動化半導体生産ラインの様々な段階でも使用されています.生産ライン全体で自動化レベルを向上させる手動による介入と故障率を減らす.
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